Спец-ЭлектронКомплект

Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (НИИМЭ), имеющий статус резидента особой экономической зоны (ОЭЗ) «Технополис Москва», приступил к разработке фоторезистов – литографических материалов, которые применяются в электронной промышленности.

Об этом сообщил руководитель Департамента инвестиционной и промышленной политики Москвы, входящего в Комплекс экономической политики и имущественно-земельных отношений столицы, Владислав Овчинский.

«Более 50% всей продукции, выпускаемой в особой экономической зоне «Технополис Москва», производится в сфере микроэлектроники. В кластер микроэлектроники ОЭЗ Москвы входят свыше 30 резидентов. Среди них – компания «НИИМЭ», которая планирует наладить производство отечественных фоторезистов для электронной промышленности. Такая продукция будет востребована при выпуске интегральных микросхем, их используют в различной современной технике. Потребителями продукции, разработанной компанией, станут российские производители микроэлектроники, в том числе резиденты ОЭЗ «Технополис Москва», – рассказал Владислав Овчинский.

Фоторезист – это светочувствительный полимерный материал, который наносят на кремниевую пластину в ходе процесса фотолитографии. С его помощью на поверхности обрабатываемой детали формируются выделенные участки – «окна» – для дальнейшего травления или легирования поверхности. Эта технология является основной в производстве интегральных микросхем.

«Компания проведет теоретические и экспериментальные работы, разработает документацию технологического процесса, методики измерений параметров материалов и метрологической экспертизы. Производство этих материалов станет важным шагом на пути достижения технологического суверенитета нашей страны», – сказал генеральный директор ОЭЗ «Технополис Москва» Геннадий Дегтев.

Как отметил заместитель руководителя приоритетного технологического направления «Электронные технологии» компании, член-корреспондент РАН Евгений Горнев, у института накоплен большой опыт исследований в области высокочистых материалов. В консорциуме с институтами Российской академии наук по программе импортозамещения резидент ОЭЗ Москвы занимается разработками и анализом высокочистых химических реактивов для отечественной промышленности. За последние пять лет были сформированы технологические цепочки исполнителей из научных организаций и организовано проведение работ по созданию задела для разработки материалов для фотолитографии, а в 2021 г. создана единственная в России физико-химическая аналитическая лаборатория мирового уровня для проведения исследований в области контроля качества технологических сред. Сегодня лаборатория участвует во всех опытно-конструкторских работах по созданию химреактивов требуемого качества и методик анализа соответствия качества высокочистых материалов.

Особая экономическая зона «Технополис Москва» – территория с особым юридическим статусом, на которой действует льготный режим предпринимательской деятельности для инвесторов. Площадь шести площадок («Печатники», «Алабушево», «Микрон», «МИЭТ», «Ангстрем», «Руднево»), на которых размещаются высокотехнологичные предприятия ОЭЗ, превышает 260 гектаров.

Источник